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DATA : 10-08-17 15:04
[전자신문] 300mm 웨이퍼 이송 로봇 대만 수출
 writer : master
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RND의 첫 대만 수출품 소개

- 전자신문 기사, 2006년 3월 31일 금요일

로봇앤드디자인(대표 김영철 http://www.rnd.re.kr)은 대만 최대 반도체 제조사 중 하나인 T사에
300mm 웨이퍼 이송용 로봇을 수출했다고 밝혔다. 이 로봇은 반도체 생산공정에서 웨이퍼를 담은
카세트를 옮겨주는 장비로 웨이퍼 25매를 담아 Stocker로 이동시킨다.  10kg 이상의 하중물을
600mm 이송시 오차범위가 0.1mm 이하로 설계된 특수 매커니즘 로봇으로 유연하고 정확한 움직임이 가능한 점이 특징이다.  

로봇앤드디자인은 그동안 200mm 웨이퍼 카세트 핸들링 로봇과 웨이퍼 SMIF 로봇을 국산화해
국내 업체들에 공급해 왔으며 대만 시장 진출은 이번이 처음이다. 클린룸 10 규격의 사용조건과
각종 주변장치와의 호환성을 높였고 대만 생산현장과 엔지니어 특성에 맞게 최적화됐다. 특히 로봇의 손 부분은 카세트 유무 여부를 확인하는 센서와 3 포지션 안착 센서를 중복 사용해서 안전을 기했으며 현지의 다양한 라인과 장치에 사용하도록 제어부와 구동부를 별도로 확장 연결했다.

이중엽 해외영업 이사는 "이번 수출을 계기로 대만내 시장을 확장하면서 조립 핸들링용 미니스카라
로봇, 미니크레인 로봇으로 공급을 확대하고 수출선의 다양화를 추진할 것"이라고 말했다.


김용석 기자@전자신문